场发射扫描电镜

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◆生产厂商：德国ZEISS公司

◆设备型号：GeminiSEM 300

◆技术参数：加速电压20V～30kV，连续可调；最大放大倍率20万倍；二次电子像（SE）分辨率：0.7nm @15kV，1.2nm@1kV。

◆制样要求：样品高度低于40mm，质量小于2kg；样品粘结牢固，导电性好，不导电样品可以进行喷金、喷碳或搭桥处理；样品内不含有水分、油或挥发性物质；多孔材料需要提前预抽真空除气；强磁性物质要进行消磁处理。

◆主要特点：1）先进的肖特基场发射（SFE）源，具有超高的分辨率；2）具有高真空、低电压模式，能实现荷电试样的高分辨观察；3）静电透镜与磁透镜组合，无磁场泄露，可实现磁性样品的高分辨观测与分析；4）完全无油真空系统。

◆应用领域：对粉末、块体等固体表面进行高分辨形貌、成分衬度观察。