能谱仪（EDS）

设备图片

◆生产厂商：英国Oxford Instruments

◆设备型号：Ultim Max 65

 ◆技术参数：能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV,空间分辨率：优于100nm；元素分析范围: Be4～Cf98。

◆制样要求：同扫描电镜样品。

◆主要特点：1）分析型SDD硅漂移电制冷探测器，晶体有效面积65mm²；2）除20kV数据库外，还配置5KV数据库，能够解决低电压下的元素判别和定量；3）能谱应用Aztec软件具有LIVE功能，能够实现实时面分布成像功能，大大提高分析效率。

◆应用领域：对粉末、块体等固体材料成分进行定性、定量分析。