电子背散射衍射仪（EBSD）

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◆生产厂商：英国Oxford Instruments

◆设备型号：Symmetry

◆技术参数：CMOS探头，同时兼具高的采集速度和高分辨率。采集速度大于3000点/s，最大可到4500点/s，最大分辨率：1244x1024；高角分辨率，优于0.05°。

◆制样要求：样品表面无变形层，经普通程序抛光后，可进一步通过电解抛光、振动抛光或离子抛光消除表面应变层；样品粘结牢固，质量和体积不宜过大，防止在重力作用下引起漂移，而体积过大有碰撞极靴和EBSD探头的风险；样品导电性好，不导电样品表面需要蒸镀5nm厚碳膜。

◆主要特点：1）百万像素分辨率（1244x1024），束流100pA；2）同时采集EBSD和EDS，速度>3000pps；3）防碰撞功能：在运行中，探测器在有可能的碰撞发生前就能探测，并自动退回，保证磷屏安全；4）探头可以上下摆动，在大工作距离下也能获得良好的探测效果；5）前置5块FSD探头，能够获得彩色前置背散射取向衬度照片用于清晰表征取向差异；6）对未知样品具有相鉴定功能；7）配置 TKD专用样品台，软件有针对TKD分析的专用标定模式。

◆应用领域：对块体材料进行微区相鉴定，进行择优取向、晶界、晶粒、织构残余应力等分析。