三维表面轮廓仪

设备图片

◆生产厂商：德国布鲁克

◆设备型号：DEKTAK XT

◆技术参数：扫描长度 50um～55mm；垂直测量范围 1mm；台阶高度重现性5Å, 1σ 在1um台阶上；垂直分辨率最大1Å（6.5um范围)；探针压力：1～15mg，最小可达0.03mg；探针曲率半径0.2～25um。     

◆样品要求：平面样，粗糙度小于625um。

◆主要特点：可创建任意区域的2D曲线图或2D等高线分布图，可创建任意区域的3D图像；自动得到样品的一维线粗糙度参数（Ra，Rp，Rv，Rz，Rc，Rt，Rq，Rsk，Rku）及二维面粗糙度（Sa，Sp，Sq，Sv，Sz，Ssk，Sku）；可得到样品的平整度，波纹度等参数。

◆应用领域：固体表面的微观尺寸测量，如长度、宽度、角度、深度、台阶高度等；可测孔洞或磨痕的磨损面积，磨损体积等参数。