真空镀膜技术领域科技成果 / 金属氮化物基多元多层陶瓷薄膜制备技术及其应用

成果基本信息
成果名称
金属氮化物基多元多层陶瓷薄膜制备技术及其应用
技术领域
表面改性材料
应用行业
新材料
技术成熟度
推广
成果内容介绍

分别利用阴极电弧离子镀和磁控溅射技术技术,开发出一系列高硬度、耐磨、抗冲蚀机械功能金属氮化物(如TiN、ZrN、CrN、TiCN、TiAlN、CrAlN、CrAlSiN、CrTiAlN、TiN/ZrN、CrN/CrAlN等)薄膜。膜层硬度≥20GPa,可广泛应用于机械制造刀具模具、航空、汽车和五金关键部件等。可根据不同的应用选择不同的涂层,如应用于刀具的抗高温氧化耐磨可选择TiAlN、CrAlN、CrAlSiN和CrTiAlN,应用于活塞环选择韧性好的CrN厚膜,对于抗冲蚀工况,则选择TiN/ZrN和CrN/CrAlN软硬交替膜层。


专利名称
(1)微型钻头表面改性用多元多层硬质薄膜材料及其制备方法 (2)一种高温抗氧化自润滑多层涂层及其制备方法 (3)一种高硬TiCN纳米复合薄膜及其制备方法、模具 (4)一种抗冲蚀涂层及其制备方法与应用、工程材料
专利号
(1)ZL200710032728.2 (2)ZL 201710776116.8 (3)ZL 201811001100.0 (4)ZL 201910410623.9
合作方式
合作开发
联系人
林松盛
联系方式
020-37238071
单位
广东省科学院新材料研究所