等离子喷涂-物理气相沉积（PS-PVD）
发布日期：2024.04.30
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【仪器简介】：生产商：瑞士Oerlikon Metco，可实现粉末气、液、固单相或多相沉积，用于制备独特结构、性能优异的先进涂层，例如高性能热/环境障涂层、电解质、高温抗氧化涂层等。
【仪器参数】：（1）配备低压等离子喷枪（F4VB）和大功率离子喷枪（O3CP）
（2）多组分工作气体，如Ar、He、H2、N2、CH4
（3）最低工作压力 0.5 mbar
（4）最大功率180 kW
（5）真空舱为Ф2.5m×4.5 m
【联系方式】：邓老师 020-87716021
