真空镀膜技术领域装备
离子辅助热蒸发复合磁控溅射镀膜机
发布日期：2022.03.03
设备图片
【仪器简介】：本设备将磁控溅射技术、离子轰击技术和蒸发镀技术集成到同一真空室中，实现了将磁控溅射技术涂层致密、耐腐蚀性佳、结合强度高的优势，和蒸发镀技术沉积速率高、生产效率高的优势有机结合。主要用于在小型紧固件、钕铁硼永磁体上制备腐蚀防护涂层。
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【仪器简介】：本设备将磁控溅射技术、离子轰击技术和蒸发镀技术集成到同一真空室中，实现了将磁控溅射技术涂层致密、耐腐蚀性佳、结合强度高的优势，和蒸发镀技术沉积速率高、生产效率高的优势有机结合。主要用于在小型紧固件、钕铁硼永磁体上制备腐蚀防护涂层。
