真空镀膜技术领域装备

热丝法金刚石涂层设备

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【仪器简介】:本设备采用空心热丝设计,使得反应气体通过高温的热丝内部,相比于传统的细热丝设计,可以更充分地裂解反应气体,从而制备结合强度更高、更加细腻的防护涂层。本设备主要用于制备金刚石刀具涂层以及高质量石墨烯薄膜。

【仪器参数】:可用于刀刃直径0.5mm~20mm的铣刀,有效镀膜区沉积温度为600℃~880℃。